距離非接触精密光コム距離測定技術の開発（第３報）

光コムを用いた粗面に対する非接触測距

抄録

安定化された繰り返し周波数を持つ光コムのセルフビートに基づいた、高分解能で非接触な計測手法の開発を行なっている。参照面から測距面までの距離に応じて、光コムのセルフビートの位相は変化する。本研究では、セルフビートをビートダウンしてkHzオーダの信号にすることによって距離を精密に計測する。本報では、放物面鏡を用いて粗面からの光を集光し、参照面から3m離れた粗面までの距離計測を行ったことについて報告する。