微小球付きナノピペットプローブを用いた形状計測に関する研究

装置の設計と基本特性の評価

抄録

微細形状計測のための新規なプローブについて提案する．本研究では，中空の毛細ガラス管を熱引き加工により先鋭化したナノピペットを使用する．先鋭化されたナノピペットの先端部分に微小球を取り付けることでプローブとして用いられる．本報では，ナノピペットプローブ先端と測定対象物間の距離をナノメートルオーダーの分解能で検出可能なセンサを開発し、ナノピペットプローブの感度特性について評価した結果を報告する．