トラック形状断面ワイヤ電極を用いたSiCの放電スライシングに関する試み

木村 敦史; 岡本 康寛; 岡田 晃; 岳 志輝; 大矢 純; 山内 俊之

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.117.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: B16

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.117.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

トラック形状断面ワイヤ電極を用いたSiCの放電スライシングに関する試み

*木村敦史, 岡本康寛, 岡田晃, 岳志輝, 大矢純, 山内俊之

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キーワード: 放電加工, シリコンカーバイト, スライシング, ワイヤ

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抄録

放電スライシング法はSiCのような高硬度，高脆性材料であってもスライシング可能であるが，細線化が進むと大きなワイヤテンションを負荷できないことから加工効率や精度の低下が懸念される．そこで，本研究では加工方向のワイヤ径を細く保ち，大きなワイヤテンションを負荷できるトラック形状断面ワイヤ電極を用いたSiCの放電スライシング法を提案し，その基礎的な検討結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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