プラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面の銅メタライジング 無電解銅めっき膜の密着強度におけるプラズマ発生圧力依存性

大岡 健人; 山本 悠人; 是津 信行; 山村 和也

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.391.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: E24

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.391.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

プラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面の銅メタライジング

無電解銅めっき膜の密着強度におけるプラズマ発生圧力依存性

*大岡健人, 山本悠人, 是津信行, 山村和也

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キーワード: プラズマ, 無電解銅めっき, フッ素ポリマー, グラフト, 接着, 自己組織化

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抄録

我々は次世代高周波材料として期待されているフッ素ポリマー表面の銅メタライジングプロセスの開発を進めてきた．大気圧プラズマプロセスと液相中の自己組織化を融合させた大気圧プラズマ化学液相堆積法を用いることにより，フッ素ポリマー表面の高密着性銅メタライジングを実現してきた．本研究ではプラズマ発生圧力がフッ素ポリマー表面への過酸化物ラジカルの形成および無電解銅めっき膜の密着強度に与える影響について調べた．

責任著者(Corresponding author)

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