光学顕微画像を用いた形状モデリング 高解像度デジタルリフォーカスによる3次元データ抽出

臼杵 深; 宇野 大; 河内 陽介; 三浦 憲二郎

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.539.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: G19

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.539.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

光学顕微画像を用いた形状モデリング

高解像度デジタルリフォーカスによる3次元データ抽出

*臼杵深, 宇野大, 河内陽介, 三浦憲二郎

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キーワード: 3次元計測, 光学顕微鏡, デジタルリフォーカス, 形状モデリング, 超解像

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抄録

本研究は，光学顕微画像を用いてナノ・マイクロ領域における形状モデリングを行うことを目的としている．従来の光学顕微鏡は被写界深度の浅さゆえ，形状モデリングのための3次元データを取得するのが困難であった．そこで，デジタルリフォーカス技術と超解像技術によって高精細なイメージスタッキングを行い，合焦判定により3次元データを抽出することを提案する．テストターゲットを用いた実験による検討結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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