PGA凝集剤とマイクロバブルによるフィルタレス研削液浄化法

抄録

加工液中に含まれる微細研削屑や脱落遊離砥粒などの懸濁物質（浮遊物，沈殿物）を凝集剤で沈殿させてマグネット吸着除去し，続けて，凝集剤とマイクロバブルクーラントによる残留物質の浮上除去を併用するフィルタレス加工液浄化技術を提案している．本研究では，加工液が硬水になった場合の回収効率を検討した。さらに，マイクロバブルに超音波を援用して回収効率を向上させる方策を提案し，その効果について調べた．