射出成形と印刷技術によるＭＥＭＳ製造技術開発（キーノートスピーチ）

抄録

　真空プロセスを使わず大面積デバイスの作製が可能な印刷技術と、設備投資が少なく製造コストも低い射出成形技術を用いて、低コストのMEMSミラースキャナを開発した。作製したミラースキャナは、LED照明用のデバイスとして用いることができ、10度から50度まで動的に配光可変できるLED照明を開発した。また、本作製法は、複雑な3次元構造体を低コストで作製できることから、新しいアプリケーションのMEMSを実現する製造方法として期待できる。