顕微鏡距離画像によるマイクロ形状計測に関する研究

回転工具刃先の高速三次元再構成方法の提案

抄録

本研究では，デジタルリフォーカシングによる顕微鏡距離画像とSFS（Shape from Silhouette）法を併用することで，マイクロ形状を高速に計測する．従来のSFS法では計測対象のシルエットのみが得られるため，物体の凹凸情報取得が困難である．そこで，デジタルリフォーカシングを用いた距離画像をシルエットに反映させ，三次元再構成を行うことを提案する．