光放射圧プローブによる定在場スケールを用いた三次元形状のスキャニング測定（第2報）

定在場中でのプローブ球の挙動解析

抄録

我々は三次元形状測定として，光の干渉によって生じる定在場をスケールとし，レーザトラッピングにより捕捉された粒子を用いてスケールを読み取る技術を提案している．試料面の高さ変化により定在場スケールが移動し，粒子の捕捉位置が変動することが実験的に分かっている．この粒子の挙動から試料面の形状を決定するため，粒子の挙動について明らかにする必要がある．そこで，定在場の変化による粒子の挙動について解析を行った．