平面度測定の事前情報を使用したベイズ推論による平面度の不確かさ推定

抄録

シリコンウエハや精密加工部品の平面度測定において、フィゾー干渉計を使用した測定結果の不確かさは、参照平面の不確かさの大きさに起因することが指摘されている。本研究では、平面度測定器の参照平面と測定結果の平面度を事前情報として、ベイズ推論を適用した計測対象平面の不確かさ推定方法を提案した。その結果、少ない事前情報で平面度の不確かさを推定することができることが分かった。