弾性案内-電磁力駆動によるミリストローク超精密位置決め機構

第５報　一体化ヒンジ機構による位置決め性能

抄録

前報までに，ワイヤカット放電加工による一体化ヒンジ機構を用いたX-Y-Yawの３自由度平面位置決め機構を構成し，ナノメートルレベルの分解能でPTP位置決め可能であることを確認した．本報では，機構が持つ各軸間の残留干渉を低減するための制御方法を検討し，連続軌跡位置決め性能の向上を図った．その結果，直径1mmの円弧運動に対して真円度8.2 nm（PV）を得ている．さらに，XY平面からの面外運動誤差を評価している．