精密工学会学術講演会講演論文集
2014年度精密工学会春季大会
セッションID: C19
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光触媒ナノ粒子を用いた3次元微細構造創製に関する研究(第3報)
FDTD法を用いた電磁波機能素子への応用可能性の検討
*吉越 久倫門屋 祥太郎高橋 哲高増 潔
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キーワード: 光触媒, 微細加工, 誘電体
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抄録
本研究は金属と誘電体からなる3次元微細構造を創製することを試みるものである.TiO2光触媒ナノ粒子と金属イオン水溶液との混合液中において,波長405nmのレーザ集光点を3次元的に走査して得られた構造物に熱処理を加え,金属イオン水溶液中にて再びレーザを照射することで,任意の箇所に金属表面を持つ三次元誘電体構造を創製することが出来る.本報では,特定の電磁波に対する機能素子への応用を検討したのでこれを報告する.
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© 2014 公益社団法人 精密工学会
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