パルスエネルギを利用した気相合成法によるナノ粒子分散薄膜の形成

小越 康子; 青野 祐子; 平田 敦

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_555

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: H01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_555

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主催: 公益社団法人精密工学会

パルスエネルギを利用した気相合成法によるナノ粒子分散薄膜の形成

*小越康子, 青野祐子, 平田敦

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キーワード: パルス真空アーク蒸着, パルスレーザ蒸着, ナノ粒子分散薄膜

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抄録

パルス気相合成によるナノ粒子分散薄膜形成を目的として，パルス真空アーク蒸着とパルスレーザ蒸着を組み合わせた成膜法を提案した．パルス真空アーク蒸着により，アモルファスカーボンを成膜し，Arガス中でパルスレーザ蒸着を行うことにより，ナノ粒子を生成した．両蒸着を同一チャンバ内で，交互に行い，ナノ粒子分散薄膜形成を試みた．そして，原子間力顕微鏡，電子顕微鏡等により，薄膜の構造について評価した．

責任著者(Corresponding author)

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