単層ナノチューブニードル作製とナノスケール加工

抄録

工学や医療の分野でナノスケールでの微小加工技術のさらなる発展が不可欠である。そのために応用可能なニードル材としてカーボンナノチューブに着目した。これまでに走査型トンネル顕微鏡を用いた加工に多層ナノチューブニードルを用いて数十ナノメートルの穴加工を行ったが、さらなる微小化を目的に単層ナノチューブを用いたニードルの作製法とHOPG表面に穴加工を試みその有効性を検討した。