4探針型走査トンネル顕微鏡によるナノスケール計測（キーノートスピーチ）

抄録

４探針型走査トンネル顕微鏡はナノメータスケールでの電気特性の計測手法として普及しつつある。４本の探針を電流源、電圧測定プローブ、ゲート電極などとして利用できる。この装置によって我々は１原子層やナノワイヤ、LSIで使われているCu配線の電気抵抗を測定してきた。最近、磁性体探針を使うことで結晶表面でのスピン偏極電流やスピン流の検出も可能となった。それらは新しいスピントロニクスへの応用が期待されている。