集束イオンビーム（FIB）を応用したダイヤモンド切削工具の作製とその切削加工特性（第2報） 熱処理による照射影響層の除去と加工性評価

川堰 宣隆; 尾崎 一馬; 森田 昇; 西村 一仁; 笹岡 秀紀

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_911

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: L12

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_911

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主催: 公益社団法人精密工学会

集束イオンビーム（FIB）を応用したダイヤモンド切削工具の作製とその切削加工特性（第2報）

熱処理による照射影響層の除去と加工性評価

*川堰宣隆, 尾崎一馬, 森田昇, 西村一仁, 笹岡秀紀

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キーワード: 超精密加工, 集束イオンビーム, ダイヤモンド切削工具, 熱処理

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抄録

本研究では集束イオンビーム加工を応用して，微細な切れ刃形状を有する超精密切削加工用工具の開発について検討している．集束イオンビーム加工したダイヤモンドをエッチング処理することで，加工によって形成された変質層を除去することが可能であった．本手法を適用したダイヤモンド工具を用いて加工実験を行った結果，提案する手法により加工特性を大きく改善できることを明らかにした．

責任著者(Corresponding author)

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