光周波数コムを用いた角度スケールコムに関する研究

清水 裕樹; 玉田 純; 工藤 幸利; 陳 遠流; 伊東 聡; 高 偉

doi:10.11522/pscjspe.2015A.0_123

2015年度精密工学会秋季大会

セッションID: B45

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015A.0_123

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主催: 公益社団法人精密工学会

光周波数コムを用いた角度スケールコムに関する研究

*清水裕樹, 玉田純, 工藤幸利, 陳遠流, 伊東聡, 高偉

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キーワード: 光周波数コム, 角度スケールコム, 角度センサ, 光学式センサ

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抄録

光周波数コムにマイクロサイズのピッチを有する反射回折格子を融合して創出した角度スケールコムを測定基準として用いる，新たな超高精度・高安定角度検出原理を提案する．本報では，光周波数コムをベースとした角度スケールコムの創出原理，及び提案コンセプトによる角度検出原理について述べるとともに，試作した角度センサ光学系を用いて原理検証実験を実施し，提案手法の有効性を評価した結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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