ナノピペットを有する走査型プローブ顕微鏡を用いた大気圧プラズマジェット加工法における試料帯電の影響

抄録

大気圧プラズマジェット（APPJ）は親水化や殺菌、材料加工などへ応用されており、また真空環境を必要としない利便性から近年、活発に研究されている。我々はサブミクロンの開口を持つナノピペットプローブをAPPJのノズルとした走査型プローブ顕微鏡を用いた微細加工法を開発してきた。本研究ではAPPJ照射の際の材料とプローブ先端の帯電が加工精度に与える影響を評価し、精度向上のために取り組んだ対策について報告する。