マイクロマシニング技術によるマイクロプローブの応用（キーノートスピーチ）

抄録

半導体微細加工技術を主として用いるマイクロマシニング技術は、走査型顕微鏡のマイクロプローブに用いられるなど科学的にも工業的にも重要なキー技術である。本講演では、走査型近接場光学顕微鏡および走査型熱顕微鏡や集束イオンビーム装置などを例にとり、集積化が容易であるSiマイクロマシニング技術を適用したマイクロプローブの例と今後の展開について述べる。