レーザー照射による使用済みガラス用研磨材からの酸化セリウムの回収

第１報：半導体レーザーの照射試験結果について

抄録

本研究では、使用済みCeO2研磨材にレーザーを照射し、研磨材成分を蒸発させて保護ガラスに蒸着物を捕捉し、その成分分析を行うことで、酸化セリウムの回収が可能か検討した。具体的には、乾燥させた使用済み研磨剤に垂直方向から半導体レーザーを照射し、照射後の研磨剤表面の成分分析を行った。そして、照射中に発生する蒸気の成分分析を行った結果、照射条件によりCeが一部であるが回収できることがわかった。