小径パッドによる高速部分研磨の検討

抄録

小径パッドと公転運動を組み合わせ局所に対する高速研磨技術を検討した。局所研磨を連続させることによって自由曲面の研磨加工を目指す。本報告では弾性板の変形による加工荷重の制御とパッド近傍のスラリーの挙動の検討を行った。