波長走査干渉法による透明板の表面形状と板厚分布の同時測定

抄録

ガラス板のような透明物体の表面凹凸やその板厚を高精度で三次元測定する方法として，波長走査干渉法が知られている．しかし，実用化されている従来技術では，参照面と測定対象との距離を厳密に調整する必要があること，絶対値測定ができないことなどの問題点がある．我々は，フィゾー干渉計と波長走査により得られる干渉輝度信号から表面位置，裏面位置，板厚を一括して求めるアルゴリズムを提案する．計算機実験により，提案手法の妥当性を確認した．