表面力評価によるトランスファプリントの薄膜転写性の調査

森 章洋; 三宮 龍; 小林 隼人; 長谷川 真之; 長橋 和人; 金子 新

doi:10.11522/pscjspe.2016A.0_245

2016年度精密工学会秋季大会

セッションID: E14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016A.0_245

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2016年度精密工学会秋季大会

開催地: 茨城大学

開催日: 2016/09/06 - 2016/09/08

表面力評価によるトランスファプリントの薄膜転写性の調査

*森章洋, 三宮龍, 小林隼人, 長谷川真之, 長橋和人, 金子新

著者情報

キーワード: 表面力, トランスファプリント, 薄膜, 表面性状

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抄録

薄膜のトランスファプリント（TP）では，基板-薄膜間の表面力が転写性に影響するが，その評価手法は確立できていない．本報告では，表面力測定装置を用いて各種基板の表面力を評価し，TPの転写性を明らかにすることを試みている．PDMSとh-PDMSはいずれも同程度の接触角（100°程度）を示すが，ガラスプローブで測定した表面力は583.5μNと151.4μNと差異が見られた．両者をスタンプとしたTPにおいてもAu薄膜の転写性に違いが確認された．

責任著者(Corresponding author)

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