多値化された3次元画像からのマルチマテリアル四面体メッシュ生成

抄録

3次元的な構造を有する半導体製品を製造する際にはレイアウトや製造プロセスの設計が必要であり，近年では製造過程のボクセルベースのシミュレーションが実用化されつつある．本研究では，シミュレーションで得られた形状を他の解析などに利用する目的で，ボクセルデータで構成された半導体形状を滑らかな表面形状を有する四面体メッシュへ変換する手法を提案する．本手法の特長は，物質境界の接触状態を微調整可能な点である．