1立方ミリメートルのステータを用いた小型超音波モータの開発（第5報）

抄録

1立方ミリメートルのステータを用いた超音波モータの開発を行っている．これまでの研究の進展により10マイクロNm以上のトルクを安定して発生できるようになったが，ステータとロータに予圧を与える機構そのものはまだ大きいのが問題であった．そこで，本報では，予圧機構を含めたモータ全体としての小型化，高出力化に取り組んだので，その過程と結果について報告する．