変動磁場を利用した新しい超精密平面磁気研磨法に関する研究

抄録

本研究では変動磁場を利用した新しい超精密平面磁気研磨法を提案している。この加工法は，変動磁場中にある磁性粒子の動きを利用して，超精密表面仕上げを実現する方法である。新しい実験装置を開発し，研磨実験を行った。特に，変動磁場と静磁場を利用した場合に、それぞれの磁性粒子クラスタの加工挙動を観察し，磁場の種類と磁性粒子クラスタの挙動及び加工面に対する影響などを比較し，本加工法の特長を明らかにした。