シリコンプロセスを用いた光アクチュエータ駆動部の開発

抄録

本研究で提案する光アクチュエータとは、駆動部となるロータに光を与え、動力を取り出す機構を有するシステムである。駆動部のロータをシリコンプロセスに基づくMEMS技術で製作し、回転軸ではロータと異なる材料であるポリマー材のパリレンを用いる。従来の製作プロセスと比べ、ロータの製作精度の向上、及び外力による滑らかな駆動の実現を目指し、軸芯を加えた新たなロータ製作の構想を提案する。