サブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法 FDTD法を用いた光学応答の理論解析

金 成碩; 道畑 正岐; 高増 潔; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_17

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: A13

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_17

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主催: 公益社団法人精密工学会

サブ回折限界微小開口の非破壊光学式深さ計測法

FDTD法を用いた光学応答の理論解析

*金成碩, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

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キーワード: 超解像, 非破壊計測法, FDTD法

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抄録

半導体デバイスやMEMSに代表される微細構造においては，回折限界以下のサイズの構造の評価が求められる．回折限界以下の開口を平面波で照射した場合，開口付近では特異な光学応答が生じる．本研究では，この現象を利用して，回折限界以下の微小開口を有する穴の深さを非破壊で計測する新しい手法の開発を目指す．本報ではFDTD法を用いて，サブ回折限界微小開口における光学応答の理論解析を行った.

責任著者(Corresponding author)

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