LiNbO3を用いた音響コム型デジタル式アコースティック・エミッションセンサの開発 （第２報）―LiNbO3一体型カンチレバーアレイの作製

武藤 一夫; 三浦 幸廣; 今井 彰; 谷内 雅紀

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_245

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: D36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_245

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主催: 公益社団法人精密工学会

LiNbO3を用いた音響コム型デジタル式アコースティック・エミッションセンサの開発

（第２報）―LiNbO3一体型カンチレバーアレイの作製

*武藤一夫, 三浦幸廣, 今井彰, 谷内雅紀

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キーワード: AEセンサ, トライボロジー, LiNbO3, 製作

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抄録

本研究では，高額な半導体装置を使用し，複雑な構造を持ったMEMSアコースティック・エミッションセンサの代替として，比較的安価な装置で製造することができ，かつシンプルな構造にすることができるLiNbO3(ニオブ酸リチウム)材を用いた高性能な音響コム(櫛)型AEセンサの開発を行うものである．本報告は主にその音響コム型AEセンサの製作とそのプロセスについて報告する．

責任著者(Corresponding author)

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