エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第24報） 多光束干渉エバネッセント波による微細複雑パターン造形

鈴木 裕貴; 鈴木 邦和; 道畑 正岐; 高増 潔; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_269

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: D64

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_269

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主催: 公益社団法人精密工学会

エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第24報）

多光束干渉エバネッセント波による微細複雑パターン造形

*鈴木裕貴, 鈴木邦和, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

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キーワード: エバネッセント光, 微細加工, 三次元プリンタ, マイクロ光造形, 多光束干渉

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抄録

サブミクロンオーダの加工分解能を持つ高速3次元造形法を実現するため，本研究ではエバネッセント光を用いた一括面露光型光造形法を提案している．本報では，複数の光束を干渉させつつエバネッセント光を生成し造形する手法を提案する．本手法では，入射角度等の調整により，ミクロンオーダの構造の中にサブミクロンオーダの構造を持つ複雑な表面パターンを一括で露光することが可能となる．

責任著者(Corresponding author)

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