抄録
将来的に射出成型用の微小テクスチャ金型の製造を期待し，周期的な無数の凹凸パターンによる表面微小テクスチャを製作するため，振動援用引っかきを試みた．実験では，純銅とモデリングワックスを対象に，ピエゾアクチュエータによって切込み深さ方向への微小振動を付与された鋭利な三角錐ダイヤモンド圧子工具による振動援用引っかきがなされた．その結果，高低差，引っかきと送り方向への周期がそれぞれ70 nm，650 nm，950 nm未満となる，微小塑性盛上りに囲まれた無数の三角錐圧子によるくぼみ形状によって構成されたテクスチャの創成に成功した．
