TiO2光触媒AFMプローブを用いたナノ化学加工技術の開発

飯尾 尚浩; 古川 裕望; 永井 萌土; 柴田 隆行

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_333

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: E31

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_333

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主催: 公益社団法人精密工学会

TiO₂光触媒AFMプローブを用いたナノ化学加工技術の開発

*飯尾尚浩, 古川裕望, 永井萌土, 柴田隆行

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キーワード: 原子間力顕微鏡（AFM）, TiO₂光触媒プローブ, 光触媒酸化反応, ナノファブリケーション, MEMS

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抄録

本研究では，光触媒である酸化チタン（TiO₂）を被覆した原子間力顕微鏡（AFM）プローブを固体表面に近接させることで，探針先端の極近傍のみに化学反応を局在化し，ナノメートルレベルの位置選択的な除去加工（光触媒酸化反応）を実現する技術を提案する．本報では，光触媒活性が高いアナターゼ型TiO₂膜のAFM探針表面への形成方法を検討し，生体分子であるDNAおよび細胞のナノ加工の可能性を調査した．

責任著者(Corresponding author)

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