CO₂レーザを用いたシリコンと樹脂の重ね接合品質に関する研究

抄録

本研究は，樹脂材料を用いたMEMSのパッケージングを想定した金属と樹脂の重ね接合を行う．透明な樹脂側からレーザ光を照射して金属側界面を加熱する従来法はMEMSには適さないため，赤外光を一部透過するシリコンの特性を利用し，樹脂と密着させたシリコン側からCO2レーザを照射して樹脂を溶融させ，シリコンに溶着させるレーザ接合技術の確立を目指し，レーザの強度分布が接合品質に及ぼす影響を明らかにした。