磁気混合流体を用いた平面研磨における加工量分布の予測特性

抄録

磁気混合流体を用いた平面研磨の直流磁場と周波数f = 0.1 Hzのパルス磁場における圧力分布と流速分布の実験データを基にプレストンの経験則を用いて加工量分布を予測した．この予測結果を加工量分布の実験結果と比較検討した．