金/クロム薄膜電極を有する弾性表面波デバイスの作製

抄録

1種類のガス検出用のセンサは既に一部で実用化されている一方、広範な複数種のガスを同時に検知可能で、携帯可能なガスセンサは開発途上である。本研究では、弾性表面波(Surface Acoustic Wave; SAW)デバイスをセンサ素子のベース構造に用いたセンサチップの開発を最終目的としている。そのデバイスで、電極構造は、SAWの励振・検出を行う非常に重要な要素である。今回は、金/クロム薄膜を電極素材として選択し、SAWデバイスの作製を行った。