合成石英ガラスの背分力方向振動切削における切削抵抗の変動

抄録

合成石英ガラスはその優れた特性を活かしMEMS等に使用されている。しかし高硬度脆性材である為、臨界切込み深さが浅く延性モード加工は困難である。本研究では研削加工における砥粒の除去機構を考える為、バイトに背分力方向の振動を援用した切削加工を行う。本稿では、大きな負のすくい角をもたせたダイヤモンドRバイトを用いて、1kHz程度の振動による断続切削を行い、得られた臨界切込み深さや切削抵抗の変動について報告する。