微細レーザ加工機の開発（キーノートスピーチ）

抄録

近年，レーザ加工技術は目覚ましく進展しており，その利便性や適用材種の多様性から，多岐にわたる分野で産業用途に採用されている。穴あけに代表されるレーザ微細加工においては，微細度の更なる向上が求められている。三菱重工工作機械(株)では，加工分解能の向上が期待できるグリーンと深紫外レーザを用いた光学系を開発し，各種材料に対する加工特性を明らかにするとともに、高品質な微細加工が可能であることを実証した。