金属箔による硬脆材料の微小溝加工

抄録

スライシング時におけるカーフロス（切溝損失）を減少させることができれば，ウェハ製造コストを容易に圧縮することができる．また，希少材料を有効利用することにもつながり，省資源の観点からもこれからのウェハ製造業にとって重要な課題の一つである．本報では，カーフロス低減スライシングを実現させる第一歩として，金属箔による微小溝加工を行い，金属箔の工具としての可能性について検討した結果を報告する．