微粒子励振型空気流量比例制御弁の流量特性の改善方法の考案

第4報　制御領域の拡大を目指した微粒子による開口条件の調節

抄録

本研究では，小型・軽量で応答性の高い空圧比例制御弁を開発している．この制御弁は圧電素子の振動によりオリフィス上の微粒子を励振させ駆動させている．前報では，オリフィスを完全に開口させず微粒子の運動を制御することで開口量を調整し，高応答な流量制御を行う駆動方式を提案した．本報では，前述した駆動方式で制御流量を拡大する方法として，微粒子によるオリフィス毎の開口条件の調節を提案し有効性を示した．