圧電アクチュエータを用いた極低温用バルブの試作と評価

山田 大貴; 神田 岳文

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_753

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: K38

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_753

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

圧電アクチュエータを用いた極低温用バルブの試作と評価

*山田大貴, 神田岳文

著者情報

キーワード: バルブ, 圧電振動子, 極低温環境

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抄録

先端科学分野等において極低温環境の利用が注目されている．極低温環境は主に液体ヘリウムや液体窒素などの冷媒を用いて実現されるため，極低温流体を制御するバルブが求められる．本研究では極低温用超音波モータのたわみ型振動子を用いた駆動原理をバルブに応用し，回転型スプールバルブを試作した．80Kの液体窒素温度環境においてバルブを駆動させることで流体の流量を変化させることに成功した．

責任著者(Corresponding author)

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