可視光通信のための表面プラズモン共鳴を用いた金属-誘電体-金属（MIM）構造型光学フィルタの開発 EO（Electro-Optical）ポリマーを用いた誘電体層の設計と評価

中塩 達也; 藤田 連央; 中野 元博; 押鐘 寧; 村井 健介

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_781

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: L06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_781

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

可視光通信のための表面プラズモン共鳴を用いた金属-誘電体-金属（MIM）構造型光学フィルタの開発

EO（Electro-Optical）ポリマーを用いた誘電体層の設計と評価

*中塩達也, 藤田連央, 中野元博, 押鐘寧, 村井健介

著者情報

キーワード: 可視光通信, プラズモニクス, 表面プラズモン共鳴

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抄録

白色LEDによる可視光通信の高速化に向けて,表面プラズモン共鳴を利用し特定の波長のみをフィルタリングできる『金属‐誘電体‐金属(Metal-Insulator-Metal)構造型光学フィルタ』の研究開発を行っている.誘電体層材料としてEOポリマーの採用を考え,I層の成膜方法や手順,分光エリプソメトリーを用いてEOポリマーの屈折率測定,MIM構造における反射率の測定結果と計算結果を比較し評価を行った.

責任著者(Corresponding author)

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