裏面露光による電極アレー構造の製作（第2報） 熱処理による金薄膜の密着性向上

黒坂 幹哉; 朴 鍾淏; 柳田 保子; 初澤 毅

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_899

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: N19

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_899

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

裏面露光による電極アレー構造の製作（第2報）

熱処理による金薄膜の密着性向上

*黒坂幹哉, 朴鍾淏, 柳田保子, 初澤毅

著者情報

キーワード: バイオセンサ, マイクロニードル, 電極アレー, 裏面露光, 熱処理, 三次元生体組織

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抄録

本研究の目的は，三次元生体組織を用いたバイオセンサを実現するための新たな針状電極アレーの開発である．これまでに，二段階裏面露光を行うことで，簡便に堅牢な段付き針状構造を製作する手法を開発したが，SU-8に対する金の密着性が悪いという問題点があった．そこで，本報ではSU-8表面に蒸着した金薄膜をガラス転移点付近まで加熱し密着性を向上することで，少ない工程数で安定した電極アレー構造製作を実現した．

責任著者(Corresponding author)

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