測定範囲を拡張したOCT顕微鏡による反射面の立体形状計測

臼杵 深; 玉木 克明; 三浦 憲二郎

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_277

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: D36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_277

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

測定範囲を拡張したOCT顕微鏡による反射面の立体形状計測

*臼杵深, 玉木克明, 三浦憲二郎

著者情報

キーワード: OCT, 顕微鏡, 画像処理, 形状計測, 三次元計測

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抄録

従来のOCT(Optical Coherence Tomography)顕微鏡は，位相物体の断層像取得の他，反射物体の表面形状計測にも利用可能である．しかし，光軸方向の測定範囲が顕微鏡の被写界深度によるため，表面の凹凸程度の計測に限られ，立体形状を有する対象の測定は困難である．そこで，本研究では測定範囲を拡張するために，試料走査型のタイムドメインOCT顕微鏡を提案した．提案手法の詳細と実験による検討結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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