裏面露光による電極アレー構造の製作

抄録

生体組織を用いたバイオセンサとして鋲状構造を持つ電極アレーは非常に有効である。そこで、ガラス基板上にスピンコートしたフォトレジストに裏面露光を用い、エッチングフリーで鋲状構造の電極アレーを製作するプロセスを提案した。裏面露光によりフォトレジストとマスクに間隔を持たせることで、高アスペクト比でテーパのついたピラーが得られた。そして、二段階で裏面露光を行い、高い強度を持った鋲状構造を作製した。