複数の回転楕円面鏡によるラマン散乱分光システムの構築

抄録

近年の製膜技術の発展により，極表面層の評価が課題となっている．本研究では，極表層部のラマンスペクトルを測定する全反射ラマン散乱分光法に着目した．そのため複数の回転楕円体面鏡からなる入射角度連続可変で全散乱角度同時計測可能な光学システムの構築を進めてきた．これまでにラマン散乱より強度が比較的に強いフォトルミネッセンス測定を行った．本講演では，固体試料のラマン散乱によるシステム評価について報告する．