銅単結晶の超精密切削におけるシュミット因子の影響

抄録

筆者らは，銅単結晶の超精密切削の高精度化のため，前加工における加工変質層の低減を目指している．これまでに，切削速度を上昇させることで加工変質層が低減する事を明らかにした．しかし，その低減効果は切削面・切削方位によって異なった．本報では，銅単結晶(110)に対して前加工を行い，切削方位毎の各すべり系のシュミット因子を算出した．そして，シュミット因子が超精密切削機構に及ぼす影響について検討したので報告する．