精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会春季大会
セッションID: I24
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中性子集光用大型回転楕円形状ミラー基板の加工と集光性能評価
*武田 晋, 細畠 拓也, 日野 正裕, 森田 晋也, 小田 達郎, 遠藤 仁, 竹田 真宏, 河合 利秀, 山田 悟史, 山形 豊, 古坂 道弘
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抄録
筆者らは、金属基板を使用した大型回転楕円形状の中性子集束ミラーを作製し、その性能を評価した。集束ミラーは金属基板表面を超精密切削加工することでSANS装置に要求される曲率の大きな回転楕円形状を実現し、ミラーに要求されるsub-nmオーダーの表面粗さはミラー面を無電解NiPメッキで覆い、その表面を機械研磨することで実現した。作製されたミラーはJ-PARC/MLF BL06で中性子ビームを用いて性能評価され、1.3 mm (FWHM)の集束ビームが確認された。
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© 2017 公益社団法人 精密工学会
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