精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会春季大会
セッションID: I63
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コア径10μmのピーリング工具の被覆部除去と微細穴の同時加工
第2報
*高松 美太郎田辺 里枝伊藤 義郎増沢 隆久
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抄録
我々は,タングステン微細電極の周囲を電解めっきにより亜鉛を被覆した「ピーリング工具」を提案している.被覆部である亜鉛がタングステンより先に消耗する特性を利用し,被覆部除去と微細穴の同時加工を行った.貫通穴をあけることができたが,貫通穴の入口周囲には被覆部による凹みが形成されてしまった.そこで,同時加工時の電極送り量を調整し,凹みの無い微細穴加工を試みた.
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© 2017 公益社団法人 精密工学会
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