小溝研磨における強磁性材の粒径と回転磁極の傾きの影響

抄録

磁気研磨法を用いた平面上に設けた小溝研磨において，回転磁極に傾きを与えた場合，傾きを与えない場合よりも溝底面の表面粗さが向上することが明らかになっている．そこで，本研究では，粒子ブラシ中に含まれる強磁性材の粒径を変化させ，回転磁極の傾きの優位性の有無について検討した．その結果，強磁性材の粒径が小さいほど回転磁極の傾きの優位性が高いことがわかったので報告する．