道路インフラモニタリング用MEMSひずみセンサの開発

抄録

橋、道路等交通インフラの老朽化は特に先進国において対策が求められている課題である。これを効率化、低コスト化するために無人、設置型ひずみセンサーの開発を行う。具体的な形状としては、フレキシブル基板上にシリコンひずみゲージを配置したものを製作する。主要な検討項目としては，測定対象の変形に対するセンサの出力のメカニズム、歪みゲージの実装条件の最適化を扱う。